高效过滤器密封性检查方案说明
1 测试目的
通过对洁净室内已安装的高效过滤器进行PAO检漏，确认高效滤器的完整性及其安装的密封性。
2 测试方法：PAO法。
3测试状态与前提条件
u 静态；
u 已完成风量/风速测试，结果符合规定；
4 合格标准
受检高效过滤器测得的穿透率的zui大值不得大于“出厂合格穿透率”的2倍。
注1：“出厂合格穿透率”可通过受检高效过滤器铭牌上标注的过滤效率换算而得。
K=1-α
式中 K――出厂合格穿透率
α－－铭牌上标注的过滤效率。
注2：本次检测的高效过滤器铭牌上标注的过滤效率为 ，换算成“出厂合格穿透率”为 。故本检漏的合格标准为：测得的穿透率≤ 。
5 测试操作
5.1准备工作
卸下高效过滤器的散流板，对箱体和框架进行清洁，避免积尘对检测产生干扰。
准备好惰性气体的气源（通常使用氮气）。
5.2气溶胶烟雾的引入
用外径为1/4的塑料管将气溶胶发生器的惰性气体入口与装有压力调节阀的氮气瓶出口连接。
将气溶胶发生器的安放在空气净化系统风机柜的中效后面（若中效过滤器后面没有空间，需拆除中效后放置）。
气溶胶发生器通电加热，使温度达到393.3℃￣404.4℃。开启喷嘴调节阀，开启氮气源及其调节阀，调节气溶胶烟雾的输出量。
